Molybdeen sputtertargets dienen als elektrode- en geleidermateriaal in platte displays en dunnefilm-zonnecellen en als barrièrelaagmateriaal in halfgeleiders, dankzij het hoge smeltpunt, de hoge geleiding, de lage soortelijke weerstand en de goede corrosiebestendigheid. Plat en roterend, van zuiver Mo (Mo-1) en TZM, met strikte controle op korrel, ruwheid en vlakheid.
| Type | Afmetingen (mm) |
|---|---|
| Roterend target (buiten-Ø × binnen-Ø × lengte) | Φ140 – 180 × Φ125 – 135 × 100 – 3300 |
| Plat – rechthoekig (lengte × breedte × dikte) | 10 – 3000 × 10 – 800 × 1,0 – 50,8 |
| Plat – rond (Ø × dikte) | Ø10 – 1000 × 1,0 – 100 |
| Samenstelling | Molybdeen (Mo-1 · TZM) |
| Zuiverheid | ≥ 99,95 % |
| Dichtheid | 10,2 g/cm³ |
| Korrelgrootte | ≤ 100 µm² (of volgens specificatie) |
| Ruwheid | Ra ≤ 0,4 µm |
| Vlakheidstolerantie | < 4 µm |
| Norm | ASTM B386 |
| Atoomnummer | 42 |
| CAS-nummer | 7439-98-7 |
| Atoommassa | 95,94 g/mol |
| Smeltpunt | 2620 °C |
| Kookpunt | 4639 °C |
| Dichtheid (20 °C) | 10,22 g/cm³ |
| Kristalstructuur | kubisch ruimtelijk gecentreerd |
| Warmte-uitzetting (20 °C) | 5,2 × 10⁻⁶ m/(m·K) |
| Warmtegeleiding (20 °C) | 142 W/(m·K) |
| Soortelijke warmte (20 °C) | 0,25 J/(g·K) |
| Elektrische geleiding (20 °C) | 17,9 × 10⁶ S/m |
| Soortelijke weerstand (20 °C) | 0,056 (Ω·mm²)/m |
Mo-poeder op kwaliteit gemengd.
Koud isostatisch persen.
Middenfrequente sinteroven.
Op ruwheid / vlakheid bewerkt.
Elektrode- en geleidermateriaal voor FPD en TFT-LCD.
Achtercontact- en elektrodelagen voor dunnefilm-PV.
Barrièrelaagmateriaal voor halfgeleiderapparaten.
Targets voor sensoren, FED en functionele dunne lagen.
Stuur het targettype (roterend / plat), de afmetingen en kwaliteit (Mo / TZM) of de tekening. Offerte binnen één werkdag.